Kuidas epitaksiaalne kasv toimib?

Sisukord:

Kuidas epitaksiaalne kasv toimib?
Kuidas epitaksiaalne kasv toimib?

Video: Kuidas epitaksiaalne kasv toimib?

Video: Kuidas epitaksiaalne kasv toimib?
Video: EPP KÄRSIN: naised on hullemad perverdid kui mehed - mis siin toimub? #8 2024, Märts
Anonim

Epitaktika, teatud orientatsiooniga kristalli kasvatamise protsess teise kristalli peale, kus orientatsiooni määrab selle aluseks olev kristall. Erinevate kihtide loomine pooljuhtplaatides, näiteks need, mida kasutatakse integraallülitustes, on protsessi tüüpiline rakendus.

Kuidas saavutatakse epitaksiaalne kasv?

Meetodid. Epitaksiaalset räni kasvatatakse tavaliselt aurufaasilise epitaksi (VPE) abil, mis on keemilise aur-sadestamise modifikatsioon. Peamiselt liitpooljuhtide puhul kasutatakse ka molekulaar- ja vedelfaasilist epitaksikat (MBE ja LPE). Tahkefaasi epitaksiat kasutatakse peamiselt kristallide kahjustuste ravimiseks.

Millist gaasi kasutatakse epitaksiaalseks kasvuks?

Epitaksiaalse kasvutsükli ajal laaditakse eelpuhastatud GaAs vahvlid vertikaalsesse kvartsreaktori kambrisse, mis sisaldab elementaarse vedeliku ülemist reservuaari gallium , millesse mõõdetakse veevaba HCl gaasi, moodustades GaCl3.

Mis kasu on epitaksiaalsest kihist?

fotoonilised seadmed

Fotoonide tõhusaks emissiooniks või tuvastamiseks on sageli vaja neid protsesse piirata väga õhukeste pooljuhtkihtidega. Neid õhukesi kihte, mis on kasvatatud hulgipooljuhtplaatide peal, nimetatakse epitaksiaalseteks kihtideks, kuna nende kristallilisus ühtib substraadi kristallilisusega, kuigi…

Millised on peamised parameetrid, mida tuleb epitaksiaalsel kasvul kontrollida?

Kasvuprotsess hõlmab peamiste parameetrite, st temperatuuri, rõhu ja gaasivoogude optimeerimist, et saavutada täielik kontroll selektiivsuse (st polüräni tuumastumine põllualal), külgseina üle lihvimine, defektide tekitamine ja autodoping.

Soovitan: